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生物医学硬膜滤光片

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
生物医学硬膜滤光片项目采用多层光学薄膜干涉技术设计，采用硬膜材料高能大功率离子辅助结合多层薄膜精密膜厚控制制造，得到了优良光谱特性以及优良的环境稳定性的产品特性。技术创新点：高陡度优化多腔膜系设计；自主开发计算机辅助膜系设计以及成膜模拟分析软件；高能离子辅助、光控结合晶控以及系统误差实时修正的多层精密膜厚控制技术的成膜工艺；参考光路深度衰减的深背景测试技术。
项目主要研...
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