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集成电路铜线键合封装技术

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本项目来源于甘肃省科技重大专项项目任务书《集成电路铜线键合封装研发及产业化》,项目编号:0801GKDE046。
  1、关键技术攻关:
  (1)铜线球焊防氧化技术,给劈刀周围制造一个N2、H2气体的微环境;
  (2)高密度、窄间距、低弧度、防弹坑铜线键合工艺的确定及优化;
  ① 焊线工艺的确定及防衬垫损伤;
  提高焊盘铝层厚...
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