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超精密金刚石车削中纳米表面生成建模与表征

2010年 基础理论
  • 成果简介
精密关键元器件在国防，交通，通讯等领域一直都占有重要的地位。近年来，很多元器件的制造精度都是要求在微纳米级，常规的加工测量手段已经很难满足这种日益提高的精度要求。超精密金刚石车削是一种具备了制造纳米级表面粗糙度精密零件的超精密加工技术。在过去的几十年中，由于许多行业对表面高完整性要求的日益增加，如提高表面特性以增大磁碟容量、延长激光反射镜的寿命，纳米表面生成吸引了公众和许多科学家的注意力。...
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