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一种高度c轴取向的纳米多孔氧化锌薄膜及其制备方法

2010年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种高度c轴取向的纳米多孔氧化锌薄膜及其制备方法，属于半导体光电材料、纳米能源材料、催化材料领域。薄膜沉积过程由若干个循环组成，每个循环包含四步：(1)前驱体溶液吸附；(2)衬底静置；(3) 衬底超声辐照；(4)热水反应及衬底干燥。前驱体为金属锌与氨或其他物质的配合物溶液，可采用金属锌的无机盐或有机醋酸盐与氨水(或其他络合剂)配制；衬底为普通玻璃、石英玻璃、ITO导电玻璃或其他材料。本发明...
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