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一种电感耦合溅射制备稳定空穴型氧化锌薄膜的方法

2010年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种电感耦合溅射制备稳定空穴型氧化锌薄膜的方法，属于半导体材料制备领域。本发明是利用电磁场约束电感耦合增强气相沉积系统，以氧化锌为溅射靶材，在工作气体氩气中通入氮气作为反应气，使溅射射频功率为100～300W，电感耦合射频源功率于 30～50W间，衬底温度400～500℃，氩气流量与氮气流量的比在5∶ 1～1∶1范围内，进行溅射镀膜，获得氮掺杂氧化锌薄膜，再将该薄膜在氮气氛围下快...
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