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面向纳米制造的机器人化作业装备关键技术攻关

2010年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　根据本项目合同规定的研究内容和考核指标，完成情况如下：
　　1、开展了基于自主技术的操作型AFM系统研制工作。通过分析AFM作业机理，完成了微纳米作业系统体系结构设计；设计实现了探针位姿光电检测系统，基于PSD光学测量的微力与微位移检测技术，具有纳米位置反馈与传感器信息融合的运动规划技术；设计完成了基于PZT的3D纳米驱动伺服驱动控制系统，基于微处理器的程序管理与数据采集处理系统；...

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