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五氧化二铌靶材的研制

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
五氧化二铌靶材作为溅射镀膜用材料，被用于光学干涉滤波器电化色薄膜和气体传感器等领域，是等离子显示器重要的镀膜材料之一。项目通过自主创新，突破了粉末预处理、靶材热压工艺等关键技术，研制出了一整套具有自主知识产权的五氧化二铌靶材生产工艺技术，并建成年产3吨五氧化二铌靶材中试生产线。产品纯度达到了99.99%以上，密度达到了4.54 g/cm3，技术水平达到国内领先、国际先进水平；制定了“氧化铌...
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