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一种硅传声器

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　一、简要技术说明
　　所谓硅传声器就是用MEMS（微机电系统）技术加工的传声器产品，也简称为MEMS传声器。我司生产的TSM-6137/4737系列硅传声器内含2块CMOS芯片：MEMS（微机电系统）芯片和ASIC（专用IC）芯片。2颗芯片被封装在1个由PCB与金属外壳组合的SMD表面贴装器件中。MEMS芯片主要由硅材料制作的背极和1片弹性硅膜组成，以其代替ECM传声器中的振膜与背...

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