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大尺寸高密度无压烧结ITO靶材工艺制备技术

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目自主研发的无压烧结ITO靶材广泛应用于平板显示器、防辐射玻璃、太阳能电池板等领域。项目采用共沉淀法制取纳米级ITO粉，通过粉末的预处理、生坯料成型、无压烧结、靶材机械加工、靶材焊接等技术研究，解决了无压烧结ITO靶材过程中密度低、不均匀、尺寸小、开裂等技术难点，形成了5吨/年的中试生产能力。项目在ITO粉末预处理、无压烧结技术等方面有所创新，申请发明专利2项。项目产品已得到了多家用户的...
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