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材料表面超精密加工纳米浆料的制备与工艺技术

2009年 应用技术
  • 成果简介
一、项目简介
材料表面的加工精度直接影响微电子技术的集成度和可靠性、导弹射程偏差(每偏差0.1微米，射程偏差数百米)、计算机硬盘存储量、航空航天定位及激光测试、光电制导、精密仪表的精度。通常机械加工精度最高达亚微米级，而化学加工又难以保证全局和局部的平整度。采用化学机械方法进行超精密加工，实现机械与化学作用互补，既保证加工的高精度和高平整，又保证工业的规模效率。本项目发...
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