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碱性抛光液与清洗剂及其技术

2009年 应用技术
  • 成果简介
一.项目简介
采用碱性介质下化学作用为主的技术路线，为解决现有酸性浆料存在的七大技术难题，研制出用低粒径分散度、硬度适中、高浓度、易清洗的SiO2水溶胶为磨料的碱性抛光液。可有效降低机械强度，大幅度提高化学机械超精密加工精度和高速率，且简化工艺、降低成本、提高抛光液的商品竞争力，达到高效益。
自主合成的微电子专用螯合剂有高达28个能给予电子对的原子...
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