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烧结氧化铟锡（ITO）靶材制备技术

2008年

应用技术

成果简介

ITO靶材是磁控溅射制备ITO透明导电薄膜的原料，这种透明导电薄膜对可见光透过率＞85％，红外光反射率达90%，且导电性好，有优良的化学稳定性、热稳定性和刻蚀性，广泛应用于平板显示器、防辐射玻璃、太阳能电池板等领域。ITO靶材技术主要集中于日本、美国和德国，日本在靶材制备技术和装备技术上走在世界前列，采用烧结工艺制备的ITO靶材相对密度可达到99%以上，典型使用尺寸300×600mm，主要...

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