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纳米级SiOxNy薄介质膜的界面氮化反应模型与界面电特性

1999年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
研究对象与研究方法新颖、有创新性、有自身的特色，并且研究的系统性与完整性较高，引起了成果同行界的重视。该项研究对发展新型薄膜材料、半导体器件与集成电路的性能方面的提高，有着重要的学科理论，具指导性与实际性的应用价值。...
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