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耐深紫外激光辐照特种玻璃

2009年

应用技术

成果简介

一、项目名称
耐深紫外激光辐照特种玻璃
二、技术概况
耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。
ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。
...

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