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超纯超净微电子级化学品

2009年 应用技术
  • 成果简介
随着电子工业的迅猛发展和半导体装置的高度集约化，电子化学品的需求量越来越多，用于电子工业中的化学品杂质离子和固体颗粒的含量要求很低。微电子行业用电子化学品全部依赖进口，是科技部十一五重点支持的领域。
四甲基氢氧化铵、胆碱，四乙基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵，四丙基氢氧化铵等是一类有机碱，主要用作微电子芯片和液晶、太阳能电池制造中的显影剂，清洗剂、剥离剂等。
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