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光电子材料和器件的研究

2009年 应用技术
  • 成果简介
周期结构金属薄膜光学材料具有透过率异常增强的现象。这种周期结构金属薄膜在雷达、卫星通讯、亚波长光学、高密度磁光数据存储、生物探测和集成光路的微型化等方面有着广泛的应用前景，近年来愈来愈引起人们的重视。目前，这种周期结构金属薄膜通常是通过使用聚焦离子束刻蚀工艺对金属薄膜进行刻蚀来获得，而且器件的光学响应在可见光波段. 我们提出了用镂空模板(stencil mask)法制备“等离激元晶体”的新...
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