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磁功能薄膜材料及其在高灵敏度磁传感器中的应用技术

2009年 应用技术
  • 成果简介
高灵敏度磁传感器集磁功能薄膜材料技术、纳米技术与半导体集成技术于一身，具有功耗小、可靠性高、体积小、能工作于恶劣环境等现有传统传感器所不能相比的优点，而且在制造成本上，高灵敏度磁传感器并不高于其它普通传感器，甚至大大低于某些传感器。
由于其对磁场、温度、电压电流、应力应变、压力等的变化敏感，可用于非接触式位置测量、加速度测量、角度测量、速度测量、电流测量、应力应变测量、...
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