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真空箱检漏回收系统

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目利用氦质谱检漏仪为核心，用氦气作为探索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏技术具有快速、准确、灵敏度高及无损伤性等优点，包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分，分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性，氦气的压缩比很小，可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室，在质谱室中氦气被电离，氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极，产生一个正比于离子数量的电...
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