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纳米硅/掺杂氧化硅结构薄膜的发光特性研究

2010年

基础理论

成果简介

　　国家自然科学基金委。
　　近年来光电子器件的广泛应用使得硅基纳米薄膜材料成为了热点研究领域。在本基金的研究工作中，我们采用多靶交替和复合靶共溅射的射频磁控溅射技术在硅衬底上淀积了纳米硅（或锗）/掺杂氧化硅和含纳米C(Si或Ge)的氧化硅薄膜，后形成Au/nano-Si/doping nano-SiO2等薄膜/p-Si结构。对所制备的样品进行了多种测量如：RAMAN，SPM，AFM，...

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