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极小气体流量测量技术研究

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目是国防军工计量“十一五”计划重点研究项目，项目经费为310万元，项目编号为A11603209，研究起止时间为2006年7月至2009年12月。
　　该项目采用固定流导法和气体分流法两种方法测量极小气体流量。前者利用流导值为10-9m3/s量级的激光精密小孔，在(10-2～10)Pa范围内调节进气压力，实现了 (8.347×10-8～2.162×10-10)Pa·m3/s范围...
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