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AlN薄膜腔声滤波器的研制

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　无线终端的多功能化对高频器件提出了微型化、低功耗、高性能的要求。传统的介质陶瓷滤波器体积大且无法与RFIC集成，表声波滤波器则受光刻工艺的限制且难以承受高功率。
　　薄膜体声波谐振器（FBAR）作为目前唯一可以与RFIC和MMIC集成的体声波滤波器方案，因其体积小、工作频率高、功率容量大、插损低等优点引起国内外学者的广泛关注。目前市场上的体声波滤波器产品主要依赖国外进口。与国外的成...

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