首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

纳米级图形发生器

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
图形发生器是电子束曝光系统中的一个关键部件。该部件位于计算机和高精度数模转换器及扫描用高精度偏转放大器之间。其主要作用是将计算机送来的曝光图形数据进行处理，由图形发生器（Pattern Generator）中的硬件单元依次产生电子束曝光机要曝光的各点X、Y坐标值，再将这些值经过高速度、高精度数模转换器（D/A）变换成对应的模拟量，驱动高精度偏放大器以控制电子束沿X、Y方偏转，对承放在激光工...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统