首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

面向MEMS制造的大行程高速高精度平面定位系统的研究

2010年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　研制出两套新型大行程高速高精度平面定位系统—宏微驱动精密定位系统和高加速度精密并联定位系统。获得国家发明专利3项。发表论文8篇，其中SCI检索1篇，EI检索8篇。各项成果指标均满足或超过任务书上要求的考核指标。已将研究成果进行了技术鉴定和报奖。
　　该项目的大行程高速高精度平面定位关键技术集成于“面向MEMS组装、封装与键合测试的关键微操作设备”，于2006年12月25日通过了黑龙...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统