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微型构件微成形技术与装备

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　随着微机电系统（Micro-electro-mechanical system,MEMS）和微系统技术（Micro system technology,MST）的迅速发展和逐步进入实用化，对微型构件的需求日益增加。单一的硅材料和平面制造工艺难以满足MEMS和微小武器系统的实际发展需要。而微成形技术是一种以塑性变形方式来成形微小型零件的工艺方法，通常定义为成形零件的尺寸或其特征尺寸至少在两个方向...

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