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分子/增压泵稀土永磁材料真空熔炼炉(节能、高效真空熔炼炉)

2009年

应用技术

成果简介

分子/增压泵是深圳大学在首届《中国国际高新技术成果交易会》上重点推介的科技成果，最近，由深圳市摩尔真空技术有限公司批量投产。分子/增压泵不仅具有分子泵的高真空性能，而且还具有优异的中真空性能，50-10-2Pa压强范围的抽速大幅度超过罗茨泵，能耗仅为罗茨泵的5%，还能获得清洁真空。因此，该泵特别适用于各种等离子体应用（磁控溅射、离子镀、PCVD等）、真空熔炼炉和真空热处理炉等领域。

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