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低温等离子体清洗技术与设备

2009年 应用技术
  • 成果简介
表面超清洗的理想技术和工具,是一种小型化、非破坏性、干式、环保型的超清洗设备。等离子体清洗器采用气态介质作为清洗剂,有效地避免了液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染和水资源的消耗。短时间的清洗即可有效去除有机污染物,还可改变材料表面性能。可应用于清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片、光学镜片、电子显微镜片等。去除光学元件、半导体元件、印刷线路板、晶体、宝石等元器件表面的光阻物质...
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