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绝地传感器芯片

2009年 应用技术
  • 成果简介
本压力传感器采用压阻式力敏原理，是现有MEMS压力传感器中用量最大的一种，年需求量上亿只。可广泛应用于汽车、消费电子、工业、医疗等领域。传感器用单晶硅作材料，以MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成4只应变电阻，再用惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度，测量范围取决于力敏膜片的大小和厚度，一块硅圆片上可同时制作数千只传感器芯片，易于批量生产。本产品已经...
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