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微化学机械系统关键制造技术

2009年 应用技术
  • 成果简介
华东理工大学利用学科交叉优势创立微化学机械系统（Micro-Chemo-MechanicalSystem,MCMS）研究方向，并在微细加工方面形成特色，使许多化学化工过程及其装备技术发生革命性的变化。在“211工程”的重点支持下，依托承压系统安全科学教育部重点实验室和化学工程联合国家重点实验室，建立了微加工中心，拥有一批如光刻机、微机械加工中心、真空扩散焊、多功能激光加工中心等先进加工设备...
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