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KZ-400离子束刻蚀装置

2009年

应用技术

成果简介

我校国家同步辐射实验室研制出“KZ－400离子束刻蚀装置”，该装置是国内第一台大型离子束刻蚀装置，填补了我国大型离子束刻蚀装备的空白。KZ-400离子束刻蚀装置基于物理溅射效应，将基底匀速扫描条形离子束，连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀。通过对关键部位的有限元计算，分析影响装置性能的主要因素，优化工艺结构，使各项指标达到了设计要求，不同工况条件下的刻蚀实验表明刻蚀机性能满足要求。现已投...

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