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高阻抗四探针测试仪

2009年 应用技术
  • 成果简介
半导体材料和器件研究方面，都需要对半导体的表面方块电阻进行测量。目前主要采用四探针测试仪测量半导体材料的方块电阻，但是，我们了解到，目前国内科研院所使用的四探针测试仪都是老式的用于硅单晶测量的，对于新兴的宽禁带半导体材料的电阻率测量无能为力，而由于国外的相关仪器产品价格昂贵，使得许多从事宽禁带半导体材料和器件研究的课题组没办法测出他们的需要的参数。经过两年夜以继日的努力，我们设计研发了高阻...
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