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表面热功能结构数字制造及沟槽式微热管关键技术与装备

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本研究成果是在广东省自然科学基金重点项目“多尺度多维表面热功能结构数字化制造及芯片热控制机理”（项目编号：04105942）和广东省工业攻关计划项目“超高性能多茸状沟槽式薄壁微热管技术及产业化”（项目编号：2005B10201002）共同资助下经过项目组成员的紧密地努力合作而完成的。随着微电子领域对电子产品性能的无限追求，芯片集成度不断提高，带来了致命的高热流密度。微热管的研制与开发是微电...
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