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单晶炉自动控柜及系统

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　近年来，各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。单晶硅作为一种极具潜能，亟待开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注和重视。
　　国产的晶体生长炉控制技术和国外相比，在晶体产品的完整性与均匀性，元器件的稳定可靠性和设备的控制水平、自动化程度等几个方面还存在着较大的差...
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