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基于MEMS技术的微型动态压阻压力传感器

2009年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本项目属电子技术与仪器仪表领域。本项目针对我国军工、医学、大坝、桥梁、建筑等行业对具有原位测量、抗干扰、动态特性好、精度高等优异性能的微型动态传感器的需求，突破国外技术封锁，开展微小型及特殊形状的高频动态压力传感器的研究。提出了复杂结构的微机械（MEMS）设计技术与双面腐蚀成型的梁－岛－膜复合结构工艺技术，得到高线性精度；实现了各向异性腐蚀的精密控厚技术，获得极薄的膜结构；国际上首次提出了微型...

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