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基于微纳米加工技术的新型传感器微结构研究

2009年 基础理论
  • 成果简介
本课题是以中电集团生产的Pt膜温度传感器为研究对象，开展故障解析与可靠性增长技术研究，达到提高产品可靠性等级。从方案论证、产品设计、研制、生产、管理乃至跟踪服务的全过程，致力于排除和控制包括人的因素在内的一切不可靠因素。并科学地开展了可靠性增长试验和失效分析，通过“试验—暴露缺陷—改进—再试验—…”的可靠性增长过程，立足解决“先天不足”的问题。继而充分利用一切有用的信息和数据，开展失效分析...
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