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高性能非接触原子力显微镜系统设计与应用

2009年 基础理论
  • 成果简介
原子力显微镜为微纳米技术的发展提供了纳米/原子级的测量/加工工具，因此它的研究进展在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用，并逐渐发展成为近年来微纳米研究领域的核心问题之一，其突破将极有可能为微纳米领域的研究带来新的发展契机。在国家自然科学基金（60574027）支持下，本项目针对目前原子力显微镜中存在的一些典型问题展开研究，主要取得以下研究成果：
（1）针对普通的扫描探针...
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