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半导体工业有害废气——全氟化合物分解反应催化剂的研制与开发

2009年

应用技术

初期阶段

成果简介

简要技术说明：
（1）无水条件下CF4与Al2O3反应：3CF4 + 2Al2O3 = 3CO2 + 4AlF3，把CF4转化为CO2和AlF3。AlF3是固体产物，不产生新的污染。
（2）有水环境中，在Al2O3基催化剂的作用下，CF4与H2O反应生成CO2和HF。产生的HF经碱液吸收转移至水溶液中，加入本项目研制的（Mg/Al=5，450 C焙烧...

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