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90/65纳米去耦合反应离子刻蚀机

2009年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

中微公司具有独立自主知识产权的等离子体刻蚀设备Primo D-RIE，可用于12英寸，90纳米（可延伸至65纳米）高端工艺的芯片制造生产。
Primo D-RIE等离子体刻蚀设备采用了最新的技术和独特的反应室设计，使用多反应室、双反应台/室系统，具有单晶片独立加工环境。独特的小批量多反应器系统，使其与同类产品相比输出产率提高了35%以上，加工每片芯片的成本平均节省35%...

相关成果

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27. 嘉65
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34. 汾豆65
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36. 西白65
37. 屯玉65号
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39. XJD-90×12销钉型冷喂料挤出机
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41. 海信HK-H90G税控收款机
42. YH90系列锥齿轮滚动检查机
43. SJP65-200轻便型卷盘软管喷灌机
44. 4HW-65D型四轮花生收获机
45. 纳米复合电流变液材料与自耦合器件性能
46. 耦合半导体纳米材料的非线性光学特性
47. 纳米层状复合电流变液材料与自耦合器件
48. 蛇毒去纤酶
49. 去血渍专用酶
50. 核桃去青皮技术
51. XJD－90×12销钉机筒冷喂料橡胶挤出机
52. ZS-TDT90-25.4×1220/12000钢管扩径机
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56. 京秋65号
57. 晋麦65号
58. 渝甘65甘蓝
59. 九稻65号
60. 智能化SKY65-7履带式液压挖掘机
61. 从锶－90和钇－90体系中分离钇－90的电沉积方法
62. 电感耦合式等离子体刻蚀机
63. 醋酸去氢表雄酮
64. 多级电容去离子装置
65. 乳化与去乳化研究
66. 高效强力去漆剂
67. 去雾喉镜的研制
68. 常温去锈磷化剂
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72. 4M12-90/35氧气压缩机的研制
73. DYCJ-90-2-B型多功能自动印戳机
74. HTH90四履带滑模式水泥混泥土摊铺机
75. 90系列油漆
76. 中烟90
77. 富禾90
78. 纳米对撞生产试验机
79. 有机纳米功能材料
80. 纳米电极式加湿机
81. 一种PHS手机整机耦合测试装置
82. 考虑机网耦合影响的动态安全评估研究
83. 考虑机网耦合影响的动态安全评估研究
84. 纳米晶双相交换耦合稀土永磁体的研究和制备
85. SDC90K8全液压集装箱空箱堆高机
86. 金羚牌XQB70-60、XQJ65-61全自动洗衣机
87. 大叶柴胡炮制去毒及去毒后药效学试验研究
88. 高压水喷砂去溢料机
89. 去糖衣的新方法
90. 特效去腹泻保健食品
91. 去血渍专用酶的筛选
92. 磁耦合纳米级超磁致伸缩多层膜与MSAW器件的开发
93. 车载有机燃料非稳态制氢基反应耦合过程
94. 有机/无机纳米杂化材料
95. 有机－无机纳米杂化材料
96. 平菇“津平90”
97. 丹玉90号
98. 津平90平菇
99. 90#无铅汽油
100. 吉育90号

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