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微结构多参数可溯源测量平台的研究

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
微器件和微系统的基本组成单元是微米尺度的机械结构，几何量是设计和加工过程中的最基本控制参数；另外，为了实现相应的功能，相当数量的微机械结构在工作状态下受到外部或内部不同形式力的作用，产生相应的变形或位移，或处于振动状态。因此，对微机械结构的几何量和机械量特性进行测试是评价微器件和微系统功能与性能的关键因素之一。微结构具有尺寸小、运动频率高等特点，非光学测试方法一般都要求测试装置与被测对象发...
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