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石英波片厚度的测量装置和测量方法

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明装置可对石英波片厚度进行自动测量，该测量方法不需要预先确定石英波片光轴方向，只需要一种波长的激光光源，就能以较高的测量精度和速度测出所处实际环境温度下波片的厚度。并可给出该波片任一波长和环境温度下的相位延迟量。...
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