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1550纳米波长的石英透射偏正分束光栅

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于常用波段1.55微米光纤通信的石英透射偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期为866－912纳米、刻蚀深度1.91－2.05微米，光栅的占空比为1/2。本发明光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，可以低成本、大批量生产，光栅性能稳定、可靠。...
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