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光学膜厚监控系统

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控系统，特征在于其结构包括光源发射系统、监控、信号接收系统和锁相放大器四部分；所述的光源发射系统由带光电池的光源和该光源发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜、光阑、单排孔调制盘和准直镜组成，所述的信号接收系统由依次设置的折光元件、会聚镜、单色仪和光电倍增管组成一同光轴系统。...
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