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GaN氢化物气相外延设备的研制

2009年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目研究在反应室气流、反应室结构方面有独特的设计，解决了通常HVPE中的常见问题。本课题研制了用于生长GaN衬底的氢化物气相外延（HVPE）反应炉，并试制出了一台HVPE反应炉。
研究反应气体在反应室内的浓度场，讨论反应室内GaCl和NH3管道空间配置对气体在衬底表面浓度分布的影响，对HVPE系统反应室内部结构进行优化，最终能够直接在蓝宝石衬底上生长出较高质量的GaN...

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