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新型纳米碳化硅短波长发光器件制备技术研究

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目以探索和开发新型纳米碳化硅短波长发光器件制备技术为主要研究目的，结合螺旋波等离子体具有高等离子体密度、低运行气压特点，采用化学气相沉积技术制备掺杂的纳米碳化硅薄膜。
利用红外光谱、Raman光谱、扫描电子显微镜、透射电子显微镜等技术对薄膜的键合结构、晶型、晶粒尺寸和表面形貌进行表征；通过薄膜的吸收谱和光致发光谱分析掺杂纳米SiC的能级结构；测量掺杂纳米SiC薄膜的...
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