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纳米非晶硅薄膜发光动力学研究

2009年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本项目采用螺旋波等离子体化学气相沉积技术制备了镶嵌在氮化硅介质中的纳米非晶硅薄膜材料，采用Raman光谱、紫外可见透射光谱、光致发光谱、时间分辨表面光伏谱等技术对纳米非晶硅镶嵌结构薄膜的微结构特征、能带特性、光致发光以及发光机理进行了详细研究，取得了系统的研究成果。本项目的完成为研发新型高效的纳米硅基发光器件提供了丰富的实验及理论数据，为纳米非晶硅在发光领域的应用探索奠定了坚实理论基础，这...
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