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LRM1100型激光修补机

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
在大面积光掩膜制作过程中,制作要求极其严格,一般是在恒温、百级净化的环境下来完成。但是,即使在更为优良的生产线上也不可能保证制作出零缺陷的光掩膜。由于材料缺陷和制作工艺、化学清洗和灰尘等原因,都可能在光掩膜上形成针孔缺陷,这种缺陷即使很小也很可能导致整块报废。多年以来,我们用油墨和金属液修补方法来修补这种缺陷,这具有设备简单、修补成本低等优点,但也存在修补精度低、高度大、耐化学溶剂腐蚀性能...
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