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基于微电磁驱动器的MEMS光开关研制

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本项目在单位微马达研究的基础上,设计一种MEMS摆动式电磁型微驱动器,并用该驱动器驱动一高反射镜,以实现光路的切换来达到光信息的传递。该光开关有体积小,可靠性高,可批量化生产,其具体技术指标如下:
性能强度 1×2光开关 1×4光开关
开关时间 <5ms <5ms
工作寿...
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