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声表面波微传感器研制

2001年

应用技术

初期阶段

成果简介

声表面波（SAW）传感器是微传感器的一种，它主要利用SAW振荡批频率或回波信号的时延随外界机械扰动、力、热、电场、气体、温度等干扰而变化的机理，来达到检测物理、化学或生物量的目的。利用半导体工艺制作的SAW传感器具有体积小、功耗低、精度高、非接触测量、易数字化、可遥测无源器件等优点，因此作为一种新型传感器正在美、德、英等国家开展研究。SAW传感器的优点将使其能在传统传感器实现的场合大显身手...

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