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IC级硅抛光片

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　“IC抛光片”是制造大规模、超大规模集成电路的基础材料，在半导体产业中占据着重要的地位。进入21世纪以来，随着集成电路的飞速发展，全球集成电路用硅单晶抛光片的总耗量正以每年近20%的速度迅速增长。在此市场背景前提下，我公司投资建设IC级硅抛光片项目，从国外引进一条Ф100～125mm硅单晶抛光片生产线，采取自主开发和引进消化吸收相结合的方式，通过对拉晶→线切→研磨→抛光→清洗→甩干等一系列关键...
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