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光学数字显微轮廓仪

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
“光学数字显微轮廓仪”是当今国际上传统光学、机械、半导体器件以及正高速发展的微电子、光电子等高科技领域所广泛应用的高精度测量仪器，是集光学、机械、电子、计算机于一体的高科技产品。其主要功能为测量传统光学元件、光滑机械零件、半导体晶片等表面的表面粗糙度以及微电子、光电子等高科技领域的重要元件如超光滑硅片、高密度磁盘、光盘的表面粗糙度和沟槽轮廓参数。而这些参数是获得高性能元件和高信息容量的必要...
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