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TDR80A-ZJS型全自动晶体生长炉

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一、简要技术说明及主要技术性能指标：
　　全自动晶体生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备，它主要完成硅多晶体转换为单晶硅棒环节。它将多晶硅料在石英坩埚内进行高温熔化，在严格的真空度和氩气气氛保护下，通过籽晶插入多晶熔体后，在旁形成过冷态进行有规律结晶生长。控制系统主要控制熔体温度、晶体拉速、转速、氩气流量、真空度、坩埚升速、转速及其工艺参数的实现。它目前主要用于半导体硅材料与太阳能...
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